Physik Instrumente位移臺(tái) 負(fù)載容量達(dá)1000 公斤 重復(fù)精度達(dá)±0.5 微米 設(shè)計(jì)可改變：尺寸、行程和負(fù)載 速度達(dá)50 毫米/秒 行程達(dá)340 毫米/60度 帶制動(dòng)器的驅(qū)動(dòng)器：無刷電機(jī)

德國(guó)Physik Instrumente 壓電偏擺臺(tái) 分辨率高達(dá)20微弧度，優(yōu)異的位置穩(wěn)定 性 ? 光束偏轉(zhuǎn)達(dá)4毫弧度 ? 并聯(lián)運(yùn)動(dòng)實(shí)現(xiàn)更高精度和動(dòng)態(tài) ? 亞微秒級(jí)響應(yīng)時(shí)間

Physik Instrumente 壓電偏擺臺(tái) 分辨率高達(dá)20微弧度，優(yōu)異的位置穩(wěn)定 性 ? 光束偏轉(zhuǎn)達(dá)4毫弧度 ? 并聯(lián)運(yùn)動(dòng)實(shí)現(xiàn)更高精度和動(dòng)態(tài) ? 亞微秒級(jí)響應(yīng)時(shí)間